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熱処理炉 VF-5300
アニーリング酸化キャビネット

熱処理炉
熱処理炉
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特徴

機能
熱処理, アニーリング, 酸化
形状
キャビネット
熱源
電動
雰囲気
制御空気下
その他の特徴
連続, エレクトロニクス産業用

詳細

8インチウェーハ対応、超高温処理が可能なストッカー内蔵ラージバッチ縦型炉。 酸化・拡散・LPCVD、活性化アニールなど多品種処理が可能な半導体熱処理装置。 8インチウェーハ最大150枚、最大20個のカセットストッカーを備え、連続バッチ処理が可能なラージバッチ量産タイプの縦型拡散炉です。LGOヒータの採用で低温~超高温まで優れた温度特性を発揮します。低温アニールやナイトライド(Si3N4)、ポリシリコン(Poly Si)などのLPCVDから酸化拡散まで幅広いプロセスに対応します。また、二珪化モリブデン(MoSi2)ヒータを採用することにより、SiCパワーデバイス向けのゲート酸窒化など超高温プロセスにも対応します。
*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。