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焼きなまし炉 VF-5300HLP チャンバー高温縦型
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特徴
- 機能
- 焼きなまし
- 形状
- チャンバー
- その他の特徴
- 高温, 自動, 縦型
- 温度
最大: 1,900 °C
(3,452 °F)最少: 700 °C
(1,292 °F)
詳細
R&Dから量産ラインに対応
R&D､ミニバッチ：50枚処理、量産：100枚処理
75～200mmまで幅広いウェーハサイズに対応
N2ロードロックを標準装備
C to C搬送を備え、高スループットを実現
H2雰囲気でのトレンチラウンド化アニールに対応
（オプション）
