酸化炉 VF-1000
キャビネット電動研究室用

酸化炉
酸化炉
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特徴

機能
酸化
形状
キャビネット
熱源
電動
その他の特徴
研究室用, エレクトロニクス産業用

詳細

実験・研究(R&D)用途で高品位なプロセスを実現する少量生産用縦型炉。 小型で接地面積が少なくすみながらも、 幅広いウェーハ径に対応し量産機と同一の温度特性を発揮。 ミニバッチ、最大25枚の選択処理が可能で、2インチ~8インチ、および300mmまで幅広いウェーハサイズに対応した実験・研究(R&D)、少量生産用縦型炉です。LGOヒータを初めとする各種ヒータの採用で、量産機と同一の炉口構造とヒータ性能でプロセス開発が可能です。シリコンウェーハ向けの各種処理(LPCVD,酸化拡散)や、パワーデバイス(Si、SiC)向けの開発用途で、ゲート酸窒化や活性化アニールなどの幅広いプロセスに対応可能です。
*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。