焼きなまし炉 VF-3000H
窒化チャンバー高温

焼きなまし炉
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特徴

機能
焼きなまし, 窒化
形状
チャンバー
その他の特徴
高温, 縦型
温度

最大: 1,400 °C
(2,552 °F)

最少: 700 °C
(1,292 °F)

詳細

高温処理が可能でパワーデバイス製造に最適。酸窒化処理が可能。 R&D~量産まで使用可能な~8インチウェーハ対応の自動搬送搭載縦型炉。 ミニバッチ、50枚の処理が可能で、3インチ~8インチまで幅広いウェーハサイズに対応します。ハードウェアと制御システムの内容を厳選し、R&D用途から量産ラインにまでお使いいただける縦型炉です。炉内は当社独自のメタルフリー構造です。高温処理が可能でパワーデバイス製造に最適です。酸窒化処理が可能です。
*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。