酸化炉 VF-3000
ベルトコンベヤーキャビネット制御空気下

酸化炉
酸化炉
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特徴

機能
酸化
形状
ベルトコンベヤー, キャビネット
雰囲気
制御空気下
その他の特徴
研究室用

詳細

R&D~量産まで使用可能な4~8インチウェーハ対応の自動搬送搭載縦型炉。 後工程ユーザーにもご採用いただける低コストを実現。 超高温処理が可能でパワーデバイス製造に最適。 ミニバッチ、50~75枚の選択処理が可能で、4インチ~8インチまで幅広いウェーハサイズに対応します。ハードウェアと制御システムの内容を厳選し、R&D用途から量産ラインにまでお使いいただける縦型炉です。LGOヒータ、二珪化モリブデン(MoSi2)ヒータ、カーボンヒータを使い分けることにより、低温アニールやナイトライド(Si3N4)、ポリシリコン(Poly Si)などのLPCVDや酸化拡散処理はもちろん、SiCパワーデバイス向けのゲート酸窒化や活性化アニールなど超高温プロセスにも対応します。
*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。