A ferramenta CMP FTB300FP foi desenvolvida em conjunto pela JieXin e por uma equipa técnica japonesa. Este equipamento foi concebido para oferecer um elevado rendimento e uma boa relação custo-benefício, ao mesmo tempo que melhora o desempenho de planarização para satisfazer requisitos técnicos mais exigentes (GBIR, SFQR).
Tamanho da pastilha
≤12 polegadas
GBIR
<100 nm
Carregamento e descarregamento
Entrada a seco, saída a húmido
Substituto nacional de gama alta de eleição
Substituto nacional de gama alta, orientado para a fiabilidade e a estabilidade
Elevado rendimento
Equipado com 8 cabeças de polimento e 3 estações de trabalho para uma produtividade melhorada.
Integração flexível do processo
O descarregador robótico pode ser combinado com o sistema de limpeza para o tratamento de secagem.
Baixo custo global
Os consumíveis são fáceis de substituir, têm uma longa vida útil e, por isso, reduzem o tempo de inatividade.
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