Máquina de polimento de silício FTB150MP

para wafersindustrial

A FTB150MP é uma máquina de CMP de 6 polegadas concebida para aplicações laboratoriais com base nas necessidades dos clientes. É compatível com vários materiais e dispõe de unidades de polimento de alto desempenho para alcançar uma planicidade ultra-elevada da superfície das pastilhas. Com a sua elevada relação custo-benefício, constitui a solução laboratorial ideal para requisitos de processo de alta precisão. Tamanho da pastilha ≤6 polegadas Material da pastilha Si, SiC, GaN, etc. Sofisticada e compacta, com todas as funcionalidades Dedicada à investigação e desenvolvimento (I&D) de base e a aplicações em áreas de pequenas dimensões Tamanho compacto Design altamente integrado de cabeça única e placa única. Integração flexível do processo A estrutura de elevada rigidez permite a aplicação de maior pressão, podendo ser equipado com um condicionador de almofada de diamante ou um condicionador de almofada de escova de nylon. Relação custo-benefício Soluções laboratoriais com boa relação custo-benefício.