製品概要AD8312Plusは、プロセス制御を強化した高スループット向けの12インチ自動ダイボンダーです。12インチウエハ対応、300 x 100 mmまでの高密度リードフレーム処理、ボンド位置合わせを向上させるアップルック光学、複数パッケージに対応するユニバーサルワークホルダを備えています。統合モジュールにより、精密ディスペンス、レベル測定、動作制御、振動保護、高速ビジョン検査、反り(ワーページ)対策が可能です。
特長- 実績ある精度を備えた高速自動ダイボンディング
- 高密度リードフレーム対応(最大300 x 100 mm)
- アップルック光学と高精度配置による狭い公差対応
- 多様なパッケージ形式に対応するユニバーサルワークホルダ
- 構成プラットフォーム:AD8312Plus(高速)、AD8312FC(ダイ直接接着+フリップチップ対応)
仕様 / 技術仕様- 製品種別:自動ダイボンダー
- ウエハ互換性:12″
- リードフレーム処理:高密度、最大300 x 100 mm
- 配置精度:高精度なXY配置
- 光学系:ボンド位置合わせ用アップルック光学
- ユニバーサルワークホルダ:複数のパッケージに対応
- 統合技術:iDispense(エポキシのテーリング制御)、iSense(レベル測定)、iTouch(薄膜ダイ・特殊エポキシ向けの動作制御)、iBalance(振動保護)、iFlash(高速ビジョン検査)、iFlat(反り処理)
- 利用可能な構成:AD8312Plus(高速)、AD8312FC(ダイ直接接着およびフリップチップ対応)