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ナノモーションFBRシリーズのロ―タリステージは、高精度回転モーションの最小面積を実現しています。周囲の直径60mmのセラミックリングと高精度のクロスローラ回転ベアリングの組合せと、非接触光学エンコーダで構成されています。FBR60は、0.5アーク秒までの分解能のエンコーダ、そして異なった速度/トルクの要件に合わせて単一又はマルチモータの構成が可能です。
Johnson Electric/ジョンソン エレクトリック
IKOナノリニアNTは、鋼製の可動テーブル部にマグネットと光学式リニアエンコーダ用スケール、鋼製のベッドに固定子コイル、リニアエンコーダ用ヘッドなどを配置した、機能美に優れたコンパクトなリニアモータテーブルです。 テーブルの案内部には、長期メンテナンスフリーを実現したCルーブリニアウェイLの採用により、メンテナンス工数の削減に貢献します。可動子には、高性能ネオジウム磁石を採用により、極めて小形でありながら最大推力36Nを発揮するので、高速・高応答な位置決めを可能にします。また、機械的接触部分は、リニアウェイ ...
... SMARFLEXナノポジショニングスキャナステージは、ピエゾ駆動のメカニカルフレクシャの利点を活かし、数100μmまでの高精度な位置決めタスクを実現することが可能です。 PLF3232-x.60は、X方向に60μmのスキャン範囲を提供します。また、重量は30gと非常に軽量で、32×32×12mmと非常にコンパクトです。 ...
SmarAct GmbH
... SMARFLEXナノポジショニングスキャナステージは、ピエゾ駆動のメカニカルフレクシャの利点を活かし、数100μmまでの高精度な位置決めタスクを実現することが可能です。 PLF3232-z.60は、Z方向に60μmを超えるスキャン範囲を実現しています。また、重量は30gと非常に軽量で、32×32×15mmと非常にコンパクトです。 ...
SmarAct GmbH
... SMARFLEXナノポジショニングスキャナステージは、ピエゾ駆動のメカニカルフレクシャの利点を活かし、数100μmまでの高精度な位置決めタスクを実現することが可能です。 PLF5252-x.200は、X方向で200μm以上のスキャン範囲を実現しています。また、重量は90gと非常に軽く、52×52×15mmと非常にコンパクトです。 ...
SmarAct GmbH
ストローク: 10 mm
速度: 5 mm/s
... の安定性を実現 透過光用アパーチャを備えた位置決めシステムは、2台のLT300リニアステージを組み合わせて、高真空、超高真空、極端な紫外線照射下での用途に適した、精密で頑丈なXYステージを形成しています。このシステムは完全無給油で動作します。クロスローラーガイドとリードスクリューのコンセプトにより、ナノメートル領域で非常に高い安定性を実現しています。また、オプションとして、潤滑式ボールネジ駆動による高速化も可能です。 応用分野 重量物の精密位置決め、超高真空・極端紫外線下での研究、試料調製、試料スキャン ...
ストローク: 10 mm
速度: 5 mm/s
... クロスローラベアリングとピエゾモータを採用した、ナノメートル領域でのステップ動作が可能なマイクロステージです。 高分解能マイクロステージ Steinmeyer Mechatronik製品群の中で最小のステージは、非常に高い解像度を提供します。その小型化設計により、スペース要件が制限され、高水準が要求されるアプリケーションに最適です。 ピエゾモーターによる最適なステップサイズ MT53は、クロスローラベアリングとピエゾモータを搭載しており、ナノメートル領域でのステップを可能にします。真空および非磁性体バージョン ...
ストローク: 100, 200, 300 mm
速度: 5 mm/s
繰返し精度: 0.015 µm - 0.02 µm
... コントローラFMC400/450をオプションで用意 水平および垂直方向のナノメートル単位の位置決め この真空リニア軸は、10～11mbar までのすべての HV / UHV レンジに適しています。垂直方向の位置決めにも使用できるため、汎用的に使用できます。真空中で極めて高い分解能と高い剛性を実現します。移動させる負荷に応じて、2～6個のモーターを挟み込むように配置することができます。 ...
ストローク: 800 µm
速度: 17 m/s
繰返し精度: 6 nm
... OP800ピエゾ対物レンズスキャナーは、対物レンズポジショナーの中で最速のステップタイムとセトリングタイムを提供します。また、静電容量式フィードバックセンサーを搭載し、市場をリードする位置決め精度と分解能を実現しています。ほとんどの顕微鏡と対物レンズに対応し、対物レンズの大きさ、重さ、性能のニーズに応じて最適な設定が可能です。ユーザーは、アプリケーションに最適な設定を選択するだけです。 ...
ストローク: 400 mm
... NanoScan OP400ナノ位置決めピエゾ対物スキャナは、利用可能な任意の対物ポジショナで最速のステップとセトリット時間を提供します。 容量性帰還センサを組み込み、市場をリードする位置決め精度と分解能を備えています。 ほとんどの顕微鏡や対物レンズに対応するシステムは、異なる対物サイズ、重量、性能のニーズに合わせて最適化されたユーザー設定可能な設定を備えています。 ...
ストローク: 400, 600, 800 µm
速度: 8, 9, 10 m/s
繰返し精度: 3 nm
... 最高の位置決め性能とZスタック間の最速リカバリを提供するナノスキャン-SPシリーズのピエゾ駆動ステージは、適切なアダプタプレートを使用することで、多くの一般的な顕微鏡と同様にPrior電動ステージと互換性があります。高さ13.7mmの超薄型ステージは、400umおよび600umのクローズドループステージの特徴で、サンプルエリアの照明に適したアクセスを提供します。ウェルプレート、マイクロタイタープレート、スライド、ペトリ皿など、さまざまなサンプルに対応するアクセサリーインサートプレートが用意されています ...
ストローク: 0.4, 0.2, 0.1 mm
... 共振周波数 -真空バージョン 特徴 サブナノメートルの位置決め分解能 NPXピエゾスタックリニアステージは、0.2nmの位置決め分解能を持ち、分解能は制御電子機器のノイズによってのみ制限される超微細な調整を行うことができます。 大きなピエゾ可動範囲 NPXピエゾスタックリニアステージは、高信頼性、多層、低電圧の圧電トランスデューサースタックを採用し、高負荷サイクルのオペレーションを実現します。FEAで最適化された洗練された平行四辺形の固体フレクシャーガイドシステムにより、完璧な平行移動と最大400 ...
ストローク: 25, 100, 75, 50 mm
速度: 145, 500 mm/s
繰返し精度: 75 nm
... 当社の第2世代ANT95Lリニアステージは、ナノメートルレベルのモーションおよび位置決めニーズに対応する最先端のソリューションです。分解能、精度、再現性、サイズ、信頼性を兼ね備えたクラス最高のステージです。さらに、優れた動的性能と強化された耐荷重能力を備えたANT95Lステージは、プロセスを増幅するための優れた選択肢です。 -強化された第2世代設計 -最小0.5 ...
Aerotech/エアロテック
ストローク: max 16.0 µm
... をフレクチャーヒンジシステムに侵入するために使用されるXYナノポジショニングステージです。 これらの組み立てにより、ナノメートル精度の動的条件下でユニットを動作させることができます。 これは、軸あたり約 700ミクロンの走行範囲を備えています。 また、長期的な安定性とサブナノメートル精度のために設計された統合的なフィードバック制御を備えています。 ...
ストローク: 5 mm - 80 mm
... ガイドテーブルシリーズ ミニボアø4.5～32mm。コンパクトな高剛性リニアガイドを搭載したテーブルタイプのスタンダードセレクションです。豊富なオプションにより、自由な機械設計が可能です。油圧式ショックアブソーバーやバンパーによるストローク調整が可能（内径10mmから）。 ...
ストローク: 1 mm
... DSMのナノ位置決め圧電 ZSA-1000Cステージは、走査、計測、検査プロセスにおいて、1mmの垂直移動範囲にわたって屈曲誘導運動を特長としています。 安定性と剛性の高いキネマティック設計は、最小限のロールとチルトで出力モーションの並列性を促進し、動的な応答性を実現し、優れた位置安定性と制御を実現します。 ...
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