Aerotech/エアロテックのナノ位置決めステージ

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リニアナノ位置決めステージ / リニア サーボ モーター / 1軸 / 精密
リニアナノ位置決めステージ
ANT95-L series

ストローク: 25, 50, 75, 100 mm
速度: 0.5 m/s

... 設計の特徴 •大型トラベルフォーマットでのナノメートルレベルの性能 •高分解能(1nm)、再現性(75nm)、精度(250nm) •1nm未満のインポジション安定性 •アンチクリープクロスローラーベアリング •高ダイナミック性能 紹介 AerotechのANT95Lシリーズステージは世界の移動距離が25mmを超える最初のナノメートルレベルの位置決めステム。 ...

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Aerotech/エアロテック
回転ナノ位置決めステージ / モーター式 / 1軸
回転ナノ位置決めステージ
ANT95-R series

... ダイレクトドライブロータリーステージは、Aerotechのナノモーションの一部として設計されていますテクノロジー製品ファミリ。 当社の回転ステージは、前例のないインポジション安定性(0.005アーク秒)と0.01アーク秒サブインクリメンタルモーション性能を提供し、2つのグレードの精度で提供されます。 ...

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Aerotech/エアロテック
リニアナノ位置決めステージ / XY / モーター式 / 2軸
リニアナノ位置決めステージ
ANT95-XY series

ストローク: 25, 50 mm
速度: 0.5 m/s

... 60mmの非常に薄型を提供します。 このステージには、独自のダイレクトドライブモータ技術、非接触リニアエンコーダ、リミット、統合ケーブル管理システム、および3つの性能グレードが付属しています。 超高精度のステージ設計 ANT95XY設計により、直交性、真直度、平坦度などの重要な要素を最適化し、優れた幾何公差を持つステージを実現します。 ...

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Aerotech/エアロテック
リニアナノ位置決めステージ / Z軸 / 1軸 / 精密
リニアナノ位置決めステージ
ANT95-L-Z series

ストローク: 25, 50 mm
速度: 0.2 m/s

... 50mm)のナノメータ性能 •高分解能(2nm)、再現性(75nm)、精度(300nm) •2nm未満のインポジション安定性 •アンチクリープクロスローラーベアリング •高ダイナミック性能 紹介 ANT95LZクロスローラステージは、速度、精度、分解能、再現性、信頼性、サイズを組み合わせたクラス最高の製品で、2つの精度グレードで提供されています。 非接触直接駆動 専用非接触直接駆動技術は、精密デバイスの大量生産に必要な堅牢で正確かつ高速な位置決めを提供します。 ...

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Aerotech/エアロテック
リニアナノ位置決めステージ / 圧電 / 1軸 / 小型
リニアナノ位置決めステージ
QNP-L series

ストローク: 100 µm - 600 µm

... 100 µm~600 µmです •長いデバイス寿命 •高精度、摩擦のないフレキシブルガイダンスシステム •ダイレクトメトロジーの容量式センサオプションにより、0.007% までの優れた位置決め分解能と直線性 •他のQNPシリーズピエゾとの取付互換性ナノポジショナー •オープンループおよび真空バージョン AerotechのQNP™ ...

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Aerotech/エアロテック
リニアナノ位置決めステージ / 圧電 / 1軸 / 精密
リニアナノ位置決めステージ
QFOCUS QF46Z series

... い剛性とダイナミクスにより、優れたステップアンドセトリング性能とスキャン性能を実現 •高精度、摩擦のない屈曲指導 •長いデバイス寿命 •ダイレクトメトロジーの容量式センサによる優れた位置決め分解能と直線性オプション •さまざまなネジ式アダプタまたは取り付け穴による取り付けの柔軟性 •直径29mmまでのクリアな開口部 AerotechのQFOCUS® QF46Zピエゾナノポジショニングステージシリーズにより、顕微鏡対物および光学系をナノメートルレベルで高速で位置決めすることができますパフォーマンス。 ...

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