製品概要LFZ-CHSシリーズは、チップ、モジュール、基板、電子部品の周囲ガス温度を精密かつ高速に制御するガス式高低温インパクトチラーです。研究開発および生産試験環境での電気性能試験、故障解析、信頼性評価に適しています。
特長- 温度範囲:-120℃~+300℃
- 高速加熱・冷却:例 150℃→-55℃ を <10 秒で到達(機種依存)
- 最大ガス流量:30 m3/h(高出力試験向けに最大100 m3/hまでカスタム可)
- IC実温のリアルタイム監視による閉ループ制御と排気ガス温度の自動補正
- 加熱/冷却時間の制御が可能;プログラム、手動、リモート操作をサポート
- 試験例:周囲温度20℃、30 m3/h、5 bar、圧縮空気または窒素使用
仕様- 型式:LFZ-CHS4535 / LFZ-CHS4535W、LFZ-CHS6035 / LFZ-CHS6035W、LFZ-CHS8035 / LFZ-CHS8035W、LFZ-CHSA1035W、LFZ-CHSA1235W
- 冷却方式:空冷/水冷(機種により水冷のみのものあり)
- 機種別動作温度範囲:-45℃~225℃、-60℃~225℃、-80℃~225℃、-100℃~225℃、-120℃~225℃
- 温度精度:±0.5℃
- 温度変換時間例(加熱/冷却):-25℃→150℃:10 s(CHS4535);-45℃→150℃:10 s(CHS6035);-55℃→150℃:10 s(CHS8035);-70℃→150℃:10 s(CHSA1035W);-80℃→150℃:11 s(CHSA1235W)
- フルレンジ変換時間の目安:機種により異なる(例 150℃→-55℃:15–20 s)
- 供給ガス条件:粉じん <5 µm、油分 <0.1 ppm、供給温度 5℃–32℃、湿度 0–50% RH
- ガス流量/圧力:標準 7–25 m3/h、圧力 5–7.6 bar(試験例 5 bar)
- 圧力表示:高/低用圧力計およびセンサ値をタッチスクリーン表示
- コントローラ:Siemens PLC(ファジィPIDアルゴリズム)
- プログラム:最大10プログラム、各プログラム最大10ステップ
- 通信:Ethernet(TCP/IP)
技術的特徴- シリーズ名:LFZ-CHS Series
- 冷却オプション:空冷および水冷バリエーション、一部機種は水冷のみ
- 電子部品のストレス試験・信頼性試験に適した高い動的性能
- IC温度フィードバックによる出口ガス温度の閉ループ制御
- 手動、プログラム、リモートの柔軟な運用モード
- 要求の厳しい試験に対応する最大100 m3/hのカスタムガス流量
- 産業向けコントローラとEthernet接続により、自動試験システムへの統合が可能