レーザー用途冷却器 LRC-100
加熱処理用プラスチック産業用実験用
特徴
- 応用
- 工業用, プラスチック産業用, 実験用, レーザー用途, 半導体産業用, 加熱処理用
- その他の特徴
- コンパクト, 高性能, 熱交換器付き, ウォーターポンプ付き, ブレージングプレート式, 防爆
- 最大温度
最少: -150 °C
(-238 °F)
最大: 30 °C
(86 °F)
詳細
主な用途- 半導体装置の冷却:チップ単体の洗浄、露光/印刷機、自動クランプ装置、スプレーやイオンめっき装置、エッチング装置、単体処理装置、ウェーハ切断・封止、現像液の温度管理、露光装置、磁性部品の加熱制御
- レーザー装置の冷却:レーザー加工装置、溶接機の発熱部管理、レーザーマーキング装置、CO2レーザー加工機、レーザー光源の温度安定化
- その他産業用途:プラズマ溶接、自動包装機、金型冷却、洗浄機、めっき槽、樹脂成形機、精密研削機、射出成形品の冷却
- 分析・試験機器の冷却:電子顕微鏡、ICP光源および分光分析装置、分光光度計の加熱部、X線分析機器の熱源、原子吸光分光計の光源、CNC工作機械・加工センタの冷却
特長- 循環流体の汚染を防止し、低温での水蒸気発生を抑える密閉循環配管設計
- 信頼性の高い連続運転を支える多重保護および警報機能
- ブランドコンプレッサーを用いたカスケード冷凍方式で多段の低温能力を実現
- 操作・保守が容易な人間工学に基づく設計
- 0.1°Cの分解能を持つコンピュータ制御カスケード温度コントローラとPT100センサー
- 極低温域での温度安定性を確保する低温技術
- コンプレッサーの起動/停止差圧の設定が可能、周囲温度監視機能を搭載
- 過温度、センサー故障、高圧、コンプレッサー過熱、液面警報などの多様な警報
- 通電遅延保護と三段カスケード保護等の保護機構、全構成部品のアース接続
- 24時間連続運転に対応する高性能循環ポンプ
- 高効率のプレート型熱交換器を採用
仕様(技術仕様)- 型番(SKU):LRC-100 Series
- 製品シリーズ:LRCシリーズ(低温循環チラー)
- 対応温度範囲(機種による):-15°C ~ 30°C;-25°C ~ 30°C;-45°C ~ 30°C;-60°C ~ -20°C;-80°C ~ -20°C;-105°C ~ -60°C;-120°C ~ -70°C;-110°C ~ -150°C(サブモデルにより低温能力が異なる)
- コントローラ:コンピュータ制御のカスケード温度コントローラ、表示分解能0.1°C
- 温度センサー:PT100
- 冷凍方式:ブランドコンプレッサーによる多段カスケード冷凍
- 熱交換器:プレート式熱交換器
- 循環方式:完全密閉循環ループ、高性能ポンプによる24時間連続運転対応
- 保護/警報:過温度警報、センサー異常、高圧警報、コンプレッサー過熱警報、液面警報、通電遅延保護、多重保護
- 設計:低温時の汚染・水蒸気発生を防ぐ密閉循環配管で冷媒純度を保持
- オプション:防爆仕様などのバリエーションおよび筐体/構成の複数サイズあり
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