DescriçãoInspeção óptica automatizada (AOI) para substratos de CI: o Galaxy 5Cχ suporta tecnologia linha/espaço mínima até 5 µm. Projetado para fabricação em alto volume, combina imagens coloridas de alta resolução com óptica avançada e motores de deteção para identificar defeitos de processo e montagem em substratos avançados.
Capacidades principais- Inspeção até 5 µm linha/espaço para tecnologias avançadas de substratos de CI
- Câmara a cores de alta resolução para melhor identificação de características
- Tecnologia ótica Prisma™ Gen II para iluminação flexível e contraste máximo
- Motor de deteção Spark™ 3.0 multiplataforma com algoritmos personalizáveis
- Equilíbrio otimizado entre resolução e velocidade de digitalização para alto rendimento
Destaques- Motores lineares para movimento suave e silencioso
- Plataforma mecânica compacta para integração em fábrica
- Hardware de 6ª geração para desempenho e fiabilidade melhorados
- Bloco de iluminação melhorado com opção X-WAVE™ multi‑onda
- Configuração rápida e intuitiva de trabalhos para reduzir tempos de troca
- Compatível com automação AMHS frontal ou manuseio por robô
Opções- Fi™ — opção de inspeção final para placas acabadas
- +2DM™ metrologia — medição das dimensões do painel
- +2CD™ metrologia — medição 2D de elementos de circuito
- +3DH™ metrologia — medição 3D da altura de elementos de circuito
- +3DP™ metrologia — perfilagem 3D de elementos de circuito
- LDI™ — opção de inspeção de perfuração a laser
- CDB™ / CDBIC™ — classificação de defeitos e mapeamento virtual de defeitos
- VVS™ — sistema de verificação virtual
- X-WAVE™ — opção de iluminação multi‑onda
Especificações técnicas- Aplicação: Inspeção óptica automatizada (AOI) para substratos de CI
- Capacidade mínima linha/espaço: 5 µm
- Câmara: câmara a cores de alta resolução
- Tecnologia ótica: Prisma™ Gen II (iluminação flexível, alto contraste)
- Motor de deteção: Spark™ 3.0 (multiplataforma, algoritmos personalizáveis)
- Sistema de movimento: motores lineares para movimento suave e silencioso
- Projeto mecânico: plataforma compacta adequada para integração
- Geração de hardware: 6ª geração
- Iluminação: bloco de iluminação melhorado; X-WAVE™ opcional
- Opções de metrologia: +2DM™, +2CD™, +3DH™, +3DP™
- Opções adicionais: Fi™, LDI™, CDB™/CDBIC™, VVS™
- Compatibilidade de automação: compatível com AMHS frontal ou manuseio por robô