DescriçãoInspeção final de painéis para substratos IC avançados e HDI de linhas ultrafinas, com detecção mínima de linha/espaço até 10 µm. Galaxy Fi 10Cχ, sistema de inspeção final baseado em painel da CIMS, está equipado com câmera colorida de alta resolução e tecnologia óptica otimizada para maximizar contraste em painéis com máscara de solda e diversos acabamentos metálicos. O sistema oferece detecção confiável de defeitos em cobre niquelado/plaquado, banhado a ouro ou OTC, máscara de solda e laminado nu.
Destaques- Motores lineares para movimento suave e silencioso
- Estrutura mecânica robusta
- Mesa de vácuo automatizada para manuseio seguro
- Firmware de processamento de imagem de alto desempenho
- Computador de próxima geração para processar grandes volumes de dados
- Configuração rápida e intuitiva para novos trabalhos
- Compatível com automação AMHS frontal/traseira ou robô
Opções- 2DM™ metrology – medição das dimensões do painel
- 2CD™ metrology – medição 2D de elementos de circuito
- 3DH™ metrology – medição 3D da altura de elementos de circuito
- 3DP™ metrology – perfilagem 3D de elementos de circuito
- CDB™/CDBIC™ – classificação de defeitos e mapeamento virtual de defeitos
- X-WAVE™ – iluminação multi-onda
Especificações técnicas- Família de produtos: Galaxy Fi series (sistemas de inspeção final)
- Modelo: Galaxy Fi 10Cχ
- Aplicação: Inspeção final de painéis para substratos IC avançados e HDI de linhas ultrafinas
- Detecção mínima linha/espaço: 10 µm
- Imageamento: câmera colorida com aquisição de imagem de alta resolução
- Capacidade óptica: contraste maximizado em máscara de solda; suporta cobre plaquado, banhado a ouro ou OTC, máscara de solda e laminado nu
- Mecanismo de detecção: Spark™ 3.0 (motor de detecção multiplataforma)
- Movimento: motores lineares para movimento suave e silencioso
- Mecânica: estrutura mecânica robusta
- Manuseio: mesa de vácuo automatizada
- Processamento: computador de próxima geração para grandes volumes de dados; firmware de processamento de imagem de alto desempenho
- Usabilidade: configuração rápida e intuitiva de novos trabalhos
- Compatibilidade de automação: compatível com AMHS frontal/traseiro ou robô
- Opções de metrologia disponíveis: 2DM™, 2CD™, 3DH™, 3DP™
- Opções de inspeção/análise disponíveis: CDB™/CDBIC™; X-WAVE™