Máquina de inspeção óptica Galaxy 10Cχ

para semicondutorde PCBpara a indústria eletrônica

Descrição
AOI para substratos IC e HDI de linhas ultrafinas com suporte mínimo de linha/espaço até 10 µm. O Galaxy 10Cχ, a mais recente geração de sistemas AOI da CIMS, equipado com câmara colorida, foi desenvolvido para suportar a fabricação em grande volume de substratos IC avançados e HDI de linhas ultrafinas. É capaz de inspecionar tecnologias com largura de linha/espaço até 10 µm e combina aquisição de imagem de alta resolução com algoritmos de detecção personalizáveis. A tecnologia ótica Prisma™ Gen II proporciona cobertura de iluminação flexível e contraste máximo para permitir aquisição de imagens de alta resolução a altas velocidades de varredura. Em conjunto com capacidades avançadas de aquisição de imagem e software, a família Galaxy oferece detecção precisa com baixa taxa de falsos positivos. Galaxy 10Cχ é impulsionado por Spark™ 3.0, o motor de detecção multiplataforma de última geração da CIMS.

Destaques

• Motores lineares para movimento suave e silencioso
• Plataforma mecânica compacta
• Hardware de 6ª geração
• Bloco de iluminação aprimorado
• Configuração rápida e intuitiva para novos trabalhos
• Compatível com automação AMHS frontal ou robô

Opções

• Fi™ – opção de inspeção final para placas acabadas
• +2DM™ metrologia – medição das dimensões do painel
• +2CD™ metrologia – medição 2D de elementos do circuito
• +3DH™ metrologia – medições 3D da altura dos elementos do circuito
• +3DP™ metrologia – perfilagem 3D de elementos do circuito
• LDI™ – opção de inspeção de perfuração a laser
• CDB™/CDBIC™ – classificação de defeitos e mapeamento virtual de defeitos
• VVS™ – sistema de verificação virtual
• X-WAVE™ – iluminação multi‑onda

Especificações técnicas

• Aplicação: AOI para substratos IC e HDI de linhas ultrafinas
• Linha/espaço mínimo suportado: até 10 µm
• Câmara: câmara colorida para aquisição de alta resolução
• Tecnologia ótica: Prisma™ Gen II para cobertura de luz flexível e contraste máximo
• Motor de detecção: Spark™ 3.0 motor de detecção multiplataforma
• Desempenho: imageamento de alta resolução em alta velocidade de varredura com algoritmos de detecção personalizáveis
• Plataforma: plataforma mecânica compacta com motores lineares para movimento suave e silencioso
• Geração de hardware: 6ª geração de hardware
• Iluminação: bloco de iluminação aprimorado, opção X-WAVE™ multi‑onda disponível
• Automação: compatível com automação AMHS frontal ou robô
• Opções de metrologia: +2DM™, +2CD™, +3DH™, +3DP™
• Adições de inspeção: Fi™ inspeção final, LDI™ inspeção de perfuração a laser
• Opções de software: CDB™/CDBIC™ classificação de defeitos e mapeamento virtual; VVS™ sistema de verificação virtual
• Projetado para: fabricação em grande volume com baixa taxa de falsos positivos