DescriçãoInspeção final de painéis para substratos IC altamente avançados e HDI de linhas ultrafinas com capacidade mínima linha/espaçamento até 5 µm. Galaxy Fi 5Cχ, o mais recente sistema de inspeção final baseado em painéis da CIMS, foi concebido para suportar a inspeção final de substratos IC avançados e HDI de linhas ultrafinas. Está equipado com uma câmara a cores e é capaz de digitalizar tecnologias com linha/espaçamento até 5 µm.
A tecnologia ótica de ponta do sistema para inspeção final foi projetada para obter máximo contraste em painéis cobertos por máscara de solda e produzidos com vários processos de acabamento metálico. Esta tecnologia suporta aquisição de imagens em alta resolução e garante a deteção fiável de defeitos em cobre chapeado, chapeado a ouro/OTC, máscara de solda e laminado nu.
Equipado com aquisição de imagem de última geração e capacidades de software avançadas, a família Galaxy é reconhecida pela sua deteção excecional com a menor taxa possível de falsos positivos. Galaxy Fi 5Cχ é potenciado por Spark™ 3.0 – um inovador motor de deteção multiplataforma.
Destaques- Motores lineares para movimento suave e silencioso
- Estrutura mecânica robusta
- Mesa de vácuo automatizada
- Firmware de processamento de imagem de alto desempenho
- Computador de nova geração para processar grandes volumes de dados
- Configuração rápida e intuitiva para novos trabalhos
- Compatível com automação AMHS dianteira/traseira ou robô
Opções- +2DM™ metrologia – medição das dimensões do painel
- +2CD™ metrologia – medição 2D de elementos do circuito
- +3DH™ metrologia – medições 3D da altura dos elementos do circuito
- +3DP™ metrologia – perfilagem 3D dos elementos do circuito
- CDB™/CDBIC™ – classificação de defeitos e mapeamento virtual de defeitos
- X-WAVE™ – iluminação multi-comprimento de onda
Especificações técnicas- Capacidade mínima de inspeção linha/espaçamento: 5 µm
- Imagiologia: câmara a cores, aquisição de imagens de alta resolução
- Tecnologia ótica otimizada para máscara de solda, cobre chapeado, chapeado a ouro/OTC e laminado nu
- Motor de deteção: Spark™ 3.0 motor de deteção multiplataforma
- Movimento: motores lineares para movimento suave e silencioso
- Mecânica: estrutura robusta com mesa de vácuo automatizada
- Processamento: firmware de processamento de imagem de alto desempenho e computador de nova geração para grandes volumes de dados
- Usabilidade: configuração de trabalhos rápida e intuitiva
- Automação: compatível com automação AMHS dianteira/traseira ou robôs
- Opções de metrologia e análise disponíveis: +2DM™, +2CD™, +3DH™, +3DP™, CDB™/CDBIC™, X-WAVE™