Descrição do produtoO Phoenix PT/Micro, sistema AOI da CIMS, foi concebido para inspecionar fotoferramentas de linhas ultra finas, como film artworks e máscaras de vidro. É capaz de detetar larguras linha/espaço até 7 µm. Uma vez que as máscaras são utilizadas com luz transmissiva, o sistema de inspeção implementa um percurso de iluminação transmissiva otimizado para inspeção de máscaras, garantindo a deteção fiável de defeitos que poderiam ser transferidos para painéis produzidos com máscaras defeituosas. O desempenho resulta da combinação de aquisição de imagem de elevada qualidade com algoritmos de deteção personalizáveis e firmware de processamento avançado. O Phoenix PT/Micro é alimentado por Spark™ — um motor de deteção multiplataforma que proporciona elevada deteção com um mínimo de falsos positivos.
Destaques- Mesa de vidro transparente ou fosca
- Compatível com uma ampla gama de armações
- Adequado para máscaras de vidro e film artworks
- Estrutura mecânica robusta
- Design ergonómico para o operador
- Firmware de processamento de imagem de alto desempenho
- Processadores potentes para gerir grandes volumes de dados
- Configuração rápida e intuitiva para novos trabalhos
Opções- Diversos tamanhos de armações para máscaras de vidro
- Adaptador de armação universal
- Rastreador de altura integrado
- +2CD™ metrologia — medição 2D de elementos de circuito
- CDB™/CDBIC™ — classificação de defeitos e mapeamento virtual de defeitos
Especificações técnicas- Modelo: Phoenix PT/Micro
- Aplicação: AOI para fotoferramentas de linhas ultra finas (film artworks e máscaras de vidro)
- Detecção mínima linha/espaço: até 7 µm
- Iluminação: percurso de luz transmissiva otimizado para inspeção de máscaras
- Motor de deteção: Spark™ motor de deteção multiplataforma
- Aquisição de imagem: aquisição de imagem de elevada qualidade
- Software: algoritmos de deteção personalizáveis, firmware de processamento avançado
- Mecânica: estrutura robusta, design ergonómico, compatível com múltiplos tamanhos de armações
- Metrologia e classificação opcionais: +2CD™ metrologia, CDB™/CDBIC™