接着システム FIREBIRD
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詳細
概要
2D、2.5D、3Dフォーマットの異種集積向けに設計された自動熱圧接合システムです。
特長
仕様 / 技術仕様
2D、2.5D、3Dフォーマットの異種集積向けに設計された自動熱圧接合システムです。
特長
- 2D、2.5D、3Dフォーマットの異種集積に対応する柔軟な材料ハンドリング能力
- ウェハおよびテープ&リールの双方からのダイ投入に対応
- ストリップ／単片（シングル）／ウェハ基板に現場で設定可能
- シングル基板向けの超ワイドキャリアハンドリング
- SlimFEMによるウェハおよびガラス基板の直接ハンドリング
- 確かな導入実績
- >500件の量産導入実績
- 革新的なプロセス
- 不活性環境によりLiquid Phase Contact（LPC）プロセスを可能にし高い生産性を実現
- リアルタイムのアクティブチップチルト制御
仕様 / 技術仕様
- 製品ファミリー：FIREBIRD Series
- 技術：自動熱圧接合（thermo-compression bonding）
- 対象用途：2D、2.5D、3Dフォーマットの異種集積
- 材料ハンドリング：ウェハおよびテープ&リールからのダイをサポート；ストリップ、シングル、ウェハ基板に設定可能
- キャリアハンドリング：シングル基板向けの超ワイド対応
- ウェハ／ガラスハンドリング：SlimFEMによる直接ハンドリング
- プロセス環境：LPCを可能にする不活性環境により高い生産性を実現
- プロセス制御：リアルタイムのアクティブチップチルト
- 量産実績：量産導入実績 >500件
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