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ストローク: 50 mm - 1,000 mm
速度: 200,000 mm/s
繰返し精度: 0.5 µm - 1 µm
... 広い作業領域を持つガントリースタイルの直交ロボット。すべての可動軸は作業エリアの上部に配置されています。 - XYZガントリー 300 x 300 x 50 mm移動 - ボールねじ機構 - ステッピングモーターまたはサーボモーター駆動 オプション - 移動ストロークの大小 - 精密グレード - ボールねじリード - モータータイプ（ステッパーまたはサーボ/エンコーダー） - ロータリーテーブル設置 VISUAL IMACアイコンベースのコントローラーで簡単プログラム。コードを一行も書く必要なし！ ...
IntelLiDrives, Inc.
ストローク: 10 mm
速度: 200 mm/s
... リニアモータとダイレクトトルクモータを搭載したXYロータリステージは、半導体製造業におけるウェハハンドリングやその他多くの自動化された正確な位置決めアプリケーションのためにロープロファイルで設計されています。XY駆動リニアモータ駆動はサブミクロンのXY位置決めを提供し、ダイレクトドライブロータリステージはサブアークセック性能を保証します。 ...
IntelLiDrives, Inc.
ストローク: 200 mm
速度: 400, 800 mm/s
IntelLiDrives, Inc.
ストローク: 280 mm
速度: 400, 800 mm/s
IntelLiDrives, Inc.
ストローク: 350 mm
速度: 800, 400 mm/s
IntelLiDrives, Inc.
ストローク: 200 mm
速度: 100 m/s
繰返し精度: 2 µm
... XYボールネジ駆動オープンフレームXYステージとリフトMLVTステージ、コンパクトウォームギア回転RTLAテーブルの組み合わせ - XYストローク 100mm～300mm - リフト量 12mm～25mm - 無制限回転 ...
IntelLiDrives, Inc.
ストローク: 1 mm - 40 mm
速度: 1 mm/s - 200 mm/s
繰返し精度: 0.3 µm - 5 µm
... LA92 高速UHVリニア軸 アプリケーション高解像度、高速スキャンアプリケーション 利点超高真空での高速位置決め、垂直方向にも対応 特徴抜群の分解能、非常にスリム、内蔵モーター搭載 - 真空度：全領域HV/UHV 10E-11 mbarまで対応 - 磁性: 磁性、低磁性、マグネットフリー - 潤滑: 液体 10E-8 / 乾式 10E-11 mbarまで - 最高ベークアウト温度120°C オプション - 用途に合わせた材料選択と真空潤滑 - XYZ搬送システム（例：LA90、LA95、LA170）との組み合わせが可能。 - ...
Steinmeyer Holding GmbH
ストローク: 1 mm - 100 mm
速度: 1 mm/s - 10 mm/s
繰返し精度: 0.4 µm - 5 µm
... LT300 高精度高負荷リニアステージ 用途搬送ステージ、高荷重用スキャニングステージ 利点：ドライ潤滑にもかかわらず高寿命 特徴：ドライ潤滑油付きリードスクリューまたは液体ピエゾブレーキ付きボールスクリューによるnm安定性 - 真空度：HV / UHV / EUVの全レンジで10E-11 mbarまで対応 - 磁気: 磁気 - 潤滑： 液体～10E-8 / 乾式～10E-11 mbar - 最高ベークアウト温度120°C オプション - ピエゾブレーク付きも可能 - 用途に合わせた材料選択と真空潤滑 - ...
Steinmeyer Holding GmbH
ストローク: 1 mm - 300 mm
速度: 1 mm/s - 10 mm/s
繰返し精度: 0.015 µm - 5 µm
... LA97 ナノメートルリニアステージ 用途：スキャニング 利点：ナノメータ位置決め、垂直方向にも対応 特徴：極限の分解能と最高の剛性を備えた位置決め 2（または4）個のモーターを装備可能 - 真空: 10E-11 mbarまでのHV/UHVの全圧力範囲 - 磁性: 磁性、低磁性、マグネットフリー - 潤滑: 10E-8 mbar以下の液体潤滑 / 10E-11 mbar以下の乾式潤滑 - 最高ベークアウト温度120°C オプション - 磁性、低磁性、磁性なしバージョンあり - 用途に合わせた材料選択と真空潤滑 - ...
Steinmeyer Holding GmbH
ストローク: 1 mm - 185 mm
速度: 1 mm/s - 8.4 mm/s
繰返し精度: 0.4 µm - 5 µm
... LA95 - 用途：搬送ステージ、スキャニングステージ - 利点：ドライ潤滑にもかかわらず高寿命 - 特徴: ドライ潤滑油付きリードスクリューまたは ボールスクリュー - 真空: 10E-9 mbarまでのHV/UHVの全圧力範囲 - 磁性: 磁気 - 潤滑： 液体潤滑（10E-8まで）/乾式潤滑（10E-11mbarまで - 最高ベークアウト温度120°C 技術データ - トラベル：40mm、80mm、185mm - 繰り返し精度 ± 1.9μm、±0.4μm（一方向） ...
Steinmeyer Holding GmbH
ストローク: 1 mm - 10 mm
速度: 0.2 mm/s - 10 mm/s
繰返し精度: 0.2 µm - 5 µm
... MT53 高分解能マイクロステージ 用途：多目的マイクロステージ 利点：高分解能スキャン用 特徴：非常に高い分解能での位置決め - 真空：HV/UHVの全圧力範囲、10E-11mbarまで - 潤滑：液体潤滑（10E-8mbarまで）/ドライ潤滑（10E-11mbarまで - 磁気: 磁気 - 最高ベークアウト温度120°C オプション - 用途に合わせた材料選択と真空潤滑 - チャンバー内の設置状況に個別に対応 - コントローラー FMC400/450 ...
Steinmeyer Holding GmbH
ストローク: 1 mm - 50 mm
速度: 1 mm/s - 50 mm/s
繰返し精度: 0.3 µm - 5 µm
... KT105-50 高分解能XYステージ 用途：真空XYステージ 利点：高速、高分解能 特徴：ヨーとピッチのパラメーターがアパーター付きより3倍優れている。 - 真空度：全領域HV/UHV 最大10-11mbar - 磁性：磁性｜低磁性｜マグネットフリー - 潤滑: 液体 10-8 / ドライ 10-11 mbarまで - 最高ベークアウト温度120°C オプション - 開口部付きと開口部なし - マグネット式、低磁力式、マグネットフリー式があります。 - 様々なモーターバリエーションナノモーションまたはピエゾモーター - ...
Steinmeyer Holding GmbH
ストローク: 1 mm - 100 mm
速度: 1 mm/s - 10 mm/s
繰返し精度: 0.4 µm - 5 µm
... KDT300 安定した高負荷xyステージ 用途：搬送ステージ、高荷重用スキャニングステージ 利点： - 潤滑油の乾燥にもかかわらず高寿命 特徴： 潤滑油の乾燥にもかかわらず長寿命 - 真空度：HV / UHV / EUVの全範囲、10E-11まで - 10E-11までの潤滑液 - 開口部: 80 x 80 mm - 最大ベークアウト温度:120 オプション - 測定システム付き/なし - オプションでコントローラーFMC400/450付き - 最大 80 mm の移動量、最大 10 kg ...
Steinmeyer Holding GmbH
ストローク: 1 mm - 16 mm
速度: 1 mm/s - 2.2 mm/s
繰返し精度: 1 µm - 5 µm
... HT160 精密高荷重垂直リフティングステージ 用途：真空リフティングステージ 利点：高剛性・高荷重 特徴：ボールねじスピンドル付きウェッジ - 真空度：全レンジ HV / UHV / EUV 最大10E-11 mbar - 最大10E-8 / 最大10E-11 mbarのドライ潤滑液 - マグネット仕様も可能 - 最大ベークアウト温度120°C オプション - 用途に合わせた材料選択と真空潤滑 - チャンバー内の設置状況に個別に対応 - クリーンルームISO 14644-1用バージョン（ご要望に応じてクラス1まで対応可能） - ...
Steinmeyer Holding GmbH
ストローク: 1 mm - 16 mm
速度: 1 mm/s - 16.6 mm/s
繰返し精度: 0.7 µm - 5 µm
... HDT255 高荷重開口リフティングテーブル 用途：真空リフティングステージ 利点：-高剛性、高荷重、開口部 特徴：開口部付きウェッジステージ - 真空度：全レンジ HV / UHV / EUV 最大10E-11 mbar - 潤滑液：10E-8/ドライ 10E-11 mbarまで - 磁性: 磁気 - 最大ベークアウト温度120°C オプション - 開口部の有無 - さまざまな移動 - 測定システム付き/なしオプション - クリーンルームISO 14644-1対応（ご要望によりクラス1まで対応可能） - ...
Steinmeyer Holding GmbH
ストローク: 1 mm - 25 mm
速度: 1 mm/s - 3.4 mm/s
繰返し精度: 0.3 µm - 5 µm
... HT240 精密高荷重垂直昇降ステージ アプリケーション真空リフティングステージ 利点：高剛性・高荷重 特徴：ボールねじスピンドル付きウェッジ - 真空度：全レンジ HV / UHV / EUV 最大10-11 mbar - 潤滑：液体10-8/ドライ10-11mbarまで - 磁性: 磁気 - 最大ベークアウト温度120°C オプション - 用途に合わせた材料選択と真空潤滑 - チャンバー内の設置状況に個別に対応 - コントローラーFMC400/450オプション 技術データ - トラベル: ...
Steinmeyer Holding GmbH
速度: 100, 15 mm/s
積載量: 750 kg
... HEX-S6.50.200 6軸六脚トライポッド構造体 パラレル6自由度ステージ 簡単な説明 特徴高精度、組み立て可能、カスタマイズ可能、ライト口径460mm コンパクトで堅牢なステージで、一貫した信頼性の高いモーション精度を実現します。 超微細な位置決め分解能と十分な可搬重量を備えており、利用可能なスペースが限られている場合に、複雑な多自由度モーションを必要とするアプリケーションに最適です。半導体テストウェハーのレベリングに適しています。光学検査、大口径中空アパーチャー調整光路のアプリケーションシナリオ。 ...
ストローク: 30, 50, 100 mm
速度: 5, 50 mm/s
... - 真空：全レンジ HV / UHV / EUV 最大10E-11 mbar - 潤滑液：最大10E-8 / ドライ：最大10E-11 mbar - 最大ベークアウト温度120°C オプションで設定可能 - 磁性体、低磁性体、磁性体なしのバージョンがあります。 - 最大2種類のモーターを使用し、高負荷の動作に対応 - 異なるモーターバリエーション。ナノモーション、ピエゾモータ、リニアモータ - XYZ位置決めシステムとの組み合わせが可能 - 回転テーブル（例：DT105）との組み合わせで、回転アプリケーションに対応可能 - ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
ストローク: 100, 50 mm
速度: 5 mm/s
繰返し精度: 0.5 µm - 4 µm
... - 真空：全レンジ HV / UHV / EUV 最大 10E-11 mbar - 潤滑油：最大10E-8 / ドライ：最大10E-11 mbar - 最高温度ベークアウト温度120°C - クリーンルームクラス4 ISO 14644-1（ご要望によりクラス1まで対応可能） - ドライ運転でも非常に長い寿命 オプションで設定可能 - ピエゾブレーク搭載可能 - 用途に応じた材料選択と真空潤滑方式 - チャンバー内の設置状況に合わせた個別対応 - クリーンルーム ISO 14644-1 用バージョン（ご要望に応じてクラス ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
ストローク: 16 mm
速度: 1.1 mm/s
... - 真空：全レンジ HV / UHV / EUV 最大 10E-11 mbar - 潤滑油：最大10E-8 / ドライ：最大10E-11 mbar - 最高温度ベークアウト温度120°C - マグネット仕様も可能 - ISO 14644-1に準拠したクリーンルーム・クラス4 オプションで設定可能 - 用途に合わせた材料選択と真空潤滑方式 - チャンバー内の設置状況に合わせた個別対応 - クリーンルーム ISO 14644-1準拠（ご要望によりクラス1まで対応可） - コントローラFMC400/450をオプションで提供 高荷重用高精度リフティングステージ 高真空、超高真空のような過酷な条件下での高精度な垂直移動に適したリフティングステージです。リフトウェッジの原理により、全高が低いにもかかわらず、そのパラメータを実現しています。ギアモータと精密ボールネジ（オプションでリードネジ）の組み合わせにより、比較的高荷重で最小のステップサイズを実現します。 応用分野 超高真空・極端紫外線下での産業・研究用精密位置決め、ウェハーアライメント、カメラアライメント、材料研究、材料分析、真空中の顕微鏡、ビームライン、加速器、シンクロトロン ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH