概要Franz Haas SWAKT-Eco の全自動ウェハースベーキングオーブンは、フラットおよび中空ウェハースの工業的全自動生産向けに設計されています。PLC 検出で加熱を調整できるシステムと、バーナー配置により稼働中の微調整が可能で、ガス消費量と有害排出量を軽減します。
主な利点- 稼働中の加熱調整: 加熱パラメータは PLC により調整可能で、稼働中に熱分布を最適化し、ウェハーシートの重量と水分を均一に保ちます。
- ダウンタイム削減: 電子的な調整により機械的な冷却サイクルが不要。ベーキングプレート上部のバーナーは汚染や清掃頻度を低減します。
- 省エネ・排出低減: ベーキングゾーンの完全断熱設計と効率的なバーナーによりガス消費を約30%低減、排出有害物を最大約90%低減(構成により異なります)。
主な特徴簡易な制御PLC ベースの制御により稼働中に精密な加熱調整が可能で、製品や生産能力、ライン条件に合わせて設定を変更できます。
モジュール式設計8枚のベーキングプレートを1モジュールとするモジュール構造。容量は拡張可能(一般的構成:32〜128プレート)で、輸送や設置、将来の増設が容易です。
バーナー配置と断熱バーナーはベーキングプレートの上方に配置され、ベーキングゾーンは断熱可能で熱利用効率が向上し、バーナーの汚染を抑制します。
用途- フラットウェハースの工業生産
- 中空ウェハースの工業生産
サービスとトレーニング- 現地での立ち上げ支援および PLC 統合サポート
- プロセス・レシピに関するトレーニング(原材料、パラメータ、機械設定)
- 性能評価と最適化ワークショップ
技術仕様- 製品種別: 全自動工業用ウェハースベーキングオーブン
- モデル: SWAKT-Eco
- ブランド: Franz Haas
- 制御: 稼働中の微調整が可能な PLC 調整式加熱システム
- 加熱/バーナー: ベーキングプレート上方にバーナーを配置;ベーキングゾーンの完全断熱が可能
- エネルギー・排出: ガス消費を約30%削減、排出有害物を最大約90%削減(構成に依存)
- 設計: 8プレートモジュールによるモジュール式;32〜128プレートへ拡張可能
- 保守/稼働率: 電子的調整により冷却サイクル不要;バーナー配置により清掃頻度低減
- 想定出力: 重量・水分が均一なウェハーシート