光学式検査機器 Galaxy 5Cχ

カメラ型自動欠陥検出用

説明
IC基板向けの自動光学検査（AOI）。Galaxy 5Cχは、最小ライン／スペース5 µmに対応する検査を可能にします。高い生産性を求める量産向けに設計されており、高解像度カラーイメージングと先進の光学・検出エンジンを組み合わせて、表面実装やプロセス由来の欠陥を検出します。

主要機能

• 先端IC基板技術向けに5 µmライン／スペースまでの検査に対応
• 特徴認識を向上させる高解像度カラーカメラ
• 柔軟な照明と最大コントラストを実現するPrisma™ Gen II光学技術
• カスタマイズ可能なアルゴリズムを備えたSpark™ 3.0クロスプラットフォーム検出エンジン
• 高スループットを実現する解像度とスキャン速度の最適化

ハイライト

• 滑らかで低騒音の動作を実現するリニアモータ
• 工場フロアへの導入に適したコンパクトな機械プラットフォーム
• 性能と信頼性を向上させる第6世代ハードウェア
• 強化された照明ブロックおよびオプションのX-WAVE™マルチウェーブ照明
• ジョブの設定が迅速で直感的、段取り時間を短縮
• フロントAMHSオートメーションやロボット搬送に対応

オプション

• Fi™ — 完成基板向けの最終検査オプション
• +2DM™ メトロロジー — パネル寸法測定
• +2CD™ メトロロジー — 回路要素の2D測定
• +3DH™ メトロロジー — 回路要素の高さの3D測定
• +3DP™ メトロロジー — 回路要素の3Dプロファイリング
• LDI™ — レーザードリル検査オプション
• CDB™ / CDBIC™ — 欠陥分類および仮想欠陥マッピング
• VVS™ — 仮想検証システム
• X-WAVE™ — マルチウェーブ照明オプション

技術仕様

• 用途：IC基板向け自動光学検査（AOI）
• 最小ライン／スペース対応：5 µm
• カメラ：高解像度カラーカメラ
• 光学技術：Prisma™ Gen II（柔軟な照明、高いコントラスト）
• 検出エンジン：Spark™ 3.0（クロスプラットフォーム、カスタマイズ可能なアルゴリズム）
• 駆動方式：滑らかで静かな動作を実現するリニアモータ
• 機械設計：統合に適したコンパクトプラットフォーム
• ハードウェア世代：第6世代
• 照明：強化照明ブロック；X-WAVE™オプションあり
• メトロロジーオプション：+2DM™、+2CD™、+3DH™、+3DP™
• 追加オプション：Fi™、LDI™、CDB™/CDBIC™、VVS™
• 自動化対応：フロントAMHSやロボット搬送に対応