光学式検査機器 Phoenix LT

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説明
Phoenix LT は大判パネルの検査向けに設計された AOI（自動光学検査）システムです。最大検査パネルサイズは36" x 42"（914 mm x 1,067 mm）で、最小ライン/スペース検査能力は40 µm に対応します。Microlight™ 光学技術を採用し、制御された照明を実現。高品質な画像取得とカスタマイズ可能な検出アルゴリズムを組み合わせ、Phoenix 製品ファミリーの一員として Spark™ マルチプラットフォーム検出エンジンで低い誤検知率と効率的な不良検出をサポートします。

主な特徴

• 滑らかで静かな動作を実現するリニアモーター
• 安定したスキャンを可能にする堅牢な機械構造
• パネルを確実に保持する自動真空テーブル
• 高性能な画像処理ファームウェア
• 大量画像データを処理する高性能プロセッサ
• 新しいジョブの迅速かつ直感的なセットアップ
• 前後の AMHS オートメーションやロボット統合に対応
• 操作性向上のため両側にモニターを配置（各側に1台）

オプション

• Fi™ – 完成基板向け最終検査オプション
• +2DM™ メトロロジー – パネル寸法測定
• +2CD™ メトロロジー – 回路要素の2D測定
• LDI™ – レーザードリル検査オプション
• CDB™ / CDBIC™ – 欠陥分類および仮想欠陥マッピング
• VVS™ – 仮想検証システム

仕様 / 技術仕様

• 最大パネルサイズ: 36" x 42"（914 mm x 1,067 mm）
• 最小ライン/スペース検査能力: 40 µm
• 光学技術: Microlight™ による最適化された照明カバレッジ
• 検出エンジン: Spark™ マルチプラットフォーム検出エンジン
• 画像取得: 最新の画像取得ハードウェアと高度なソフトウェア
• 駆動システム: 滑らかで静かな動作を実現するリニアモーター
• テーブル: 自動真空テーブル
• 処理: 高性能画像処理ファームウェアと大容量データを扱う高性能プロセッサ
• オートメーション互換性: 前後の AMHS やロボット統合に対応
• 操作性: 両側にモニターを備え便利な操作を実現