光学式検査機器 Phoenix PT+

カメラ型自動ガラス表面

説明
Phoenix PT+ は CIMS AOI システムで、フィルム上のアートワークやガラスマスクなどの高解像度フォトツールの検査用に設計されています。ライン/スペース幅12.5 µm までスキャン可能です。マスクは透過光で使用されるため、Phoenix PT+ はマスク使用時と同じ光路を検査に採用し、不良マスクにより生産されるパネルへ転写され得る欠陥を確実に検出します。高品位な画像とカスタマイズ可能な検出アルゴリズムを組み合わせ、最先端の画像取得ハードウェアと高度なソフトウェアを装備することで、Phoenix ファミリーは高い検出性能と低い誤検出率を実現します。Phoenix PT+ は Spark™（クロスプラットフォーム検出エンジン）により駆動されます。

特長

• 透明またはマットのガラステーブル
• 各種フレームとの互換性
• ガラスマスクおよびフィルムフォトツールの両方に対応
• 堅牢な機械構造
• 高い人間工学に基づく設計
• 高性能な画像処理ファームウェア
• 大容量データ処理に対応する高性能プロセッサ
• 新規ジョブに対する迅速で直感的なセットアップ

オプション

• 複数サイズのガラスマスクフレーム
• 汎用フレームアダプタ
• 統合高さトラッカー
• +2CD™ 測定 – 回路要素の2D計測
• CDB™/CDBIC™ – 欠陥分類および仮想欠陥マッピング

仕様 / 技術データ

• 検出可能な最小ライン/スペース幅：12.5 µm
• 検査対象：フィルムアートワークおよびガラスマスクを含む高解像度フォトツール
• 照明 / 光学経路：透過光検査（マスク使用時と同じ光路）
• テーブル：透明またはマットのガラステーブル
• フレーム互換性：各種フレームに対応；ガラスマスク用フレームの複数サイズをオプションで用意
• 機械構造：堅牢な機械構造と高い人間工学設計
• 画像取得：最先端の画像取得ハードウェア
• 処理：高性能な画像処理ファームウェアおよび大容量データを扱う高性能プロセッサ
• ソフトウェア / 検出エンジン：カスタマイズ可能な検出アルゴリズムを備えた Spark™ クロスプラットフォーム検出エンジン
• セットアップ：新規ジョブに対する迅速で直感的なセットアップ
• オプションの計測および分類：+2CD™ 2D 測定、CDB™/CDBIC™ 欠陥分類および仮想欠陥マッピング
• オプション機器：汎用フレームアダプタ、統合高さトラッカー