光学式検査機器 AIVR 7μ

デジタルビデオ ビジョンカメラ型

製品説明
仮想検証と物理検証を1つのワークステーションで統合する、AI搭載のAOI検証ワークステーション。AIVR 7μはIC基板の量産向けに設計され、7〜25µmのライン/スペース技術の検証に最適化されています。AIVRモードでは、AOIで取得された欠陥画像をAIアルゴリズムで補正して表示し、明らかな誤検出を迅速に除外して実欠陥を優先的に確認できます。検証結果は生産データベースと統合され、オプションのタッチスクリーンでオペレーターによる分類を行い、QAへリアルタイムにフィードバックできます。全てのCIMS AOIと互換性があります。

ハイライト

• AOIの後処理画像検証とライブビデオモードを組み合わせ
• 従来モード比で最大90%の検証効率向上
• AOIから直接取得したAI補正の高解像度カラー欠陥画像を表示
• 可変ズームと自動校正
• 安定したハンドリングのための固定式バキュームテーブル
• 人間工学に基づいたワークステーション設計
• 鮮明な欠陥画像と調光可能なビデオ照明

オプション

• 欠陥マーキング用オートマーカー
• バーコードリーダー
• 調整可能なモニターアーム
• CDB™/CDBIC™ — 欠陥分類と仮想欠陥マッピング
• SharpLight™ — ビデオ画像強調

互換性と運用
AOIシステムと統合された検証ワークステーションとして動作します。AIベースの画像強調により誤検出の迅速なフィルタリングと分類ワークフローを支援します。オプションのタッチスクリーンによりオペレーター分類とQAへの即時フィードバックが可能で、結果は生産データベースに統合されます。

技術仕様

• 型名：AIVR 7μ
• 用途：IC基板向けAOI検証ワークステーション
• 対応ライン/スペース技術：7〜25µmに最適化、最小7µm
• 検証モード：AOI後処理画像検証およびライブビデオモード
• 画像特性：AI補正による高解像度カラー欠陥画像
• 光学/制御：可変ズーム、自動校正、調光可能なビデオ照明
• 機械仕様：固定式バキュームテーブル、人間工学設計
• 統合：全てのCIMS AOIと互換性あり；結果はデータベースと統合
• オプションモジュール：オートマーカー、バーコードリーダー、調整可能なモニターアーム、CDB™/CDBIC™、SharpLight™