光学式検査機器 Galaxy 7Cχ

ビデオ ビジョンカメラ型自動

概要
Galaxy 7Cχ は、IC基板向けの自動光学検査（AOI）システムで、最小ライン/スペース7 µmまでの検出をサポートし、大量生産に適しています。カラーカメラと高度な光学系により、生産速度での高解像度画像取得が可能です。

主な特徴

• Prisma™ Gen II 光学技術：柔軟な照明カバレッジと高コントラストを提供
• Spark™ 3.0 クロスプラットフォーム検出エンジン：カスタマイズ可能な検出アルゴリズム対応
• 高速での高解像度カラー画像取得に最適化
• リニアモーターによる滑らかで静かな駆動
• 工場への組み込みに適したコンパクトな機械プラットフォーム
• 第6世代ハードウェア、照明ブロック強化
• 新規ジョブの高速かつ直感的なセットアップで段取り時間を短縮

オプション

• Fi™ – 完成基板向け最終検査オプション
• +2DM™ 測定 – パネル寸法測定
• +2CD™ 測定 – 回路要素の2D測定
• +3DH™ 測定 – 回路要素の高さの3D測定
• +3DP™ 測定 – 回路要素の3Dプロファイリング
• LDI™ – レーザードリル検査オプション
• CDB™/CDBIC™ – 欠陥分類および仮想欠陥マッピング
• VVS™ – 仮想検証システム
• X-WAVE™ – マルチウェーブ照明

技術仕様

• 検出可能最小ライン/スペース：7 µmまで
• 光学技術：Prisma™ Gen II（柔軟な照明と最大コントラスト）
• 画像取得：高スキャン速度での高解像度カラーカメラ
• 検出エンジン：Spark™ 3.0 クロスプラットフォーム
• 機械駆動：滑らかで静かなリニアモーター
• プラットフォーム：工場統合向けのコンパクトな機械プラットフォーム
• ハードウェア世代：第6世代ハードウェア
• 照明：強化された照明ブロック（X-WAVE™ マルチウェーブオプションあり）
• ソフトウェア：検出を最適化し誤検出を最小限にするカスタマイズ可能なアルゴリズム
• 自動化互換性：フロントAMHSまたはロボットと互換
• 利用可能な測定・検査オプション：Fi™, +2DM™, +2CD™, +3DH™, +3DP™, LDI™, CDB™/CDBIC™, VVS™