光学式検査機 AIVR 5μ

ビデオ半導体用パターン付きウエハ

概要
AIVRは、仮想検証と物理検証を1台のワークステーションで統合するCIMSのAI搭載検証ステーションです。CIMS AIVR 5μはIC基板の量産対応を目的に設計され、5〜25 µmのライン/スペース技術の検証に最適化されています。AIVRモードでは、AOIが取得した欠陥画像をAIベースの画像強調アルゴリズムで処理した画像をオペレーターが確認し、明らかな誤検出を素早く除外できます。AIVRの導入により、検証の効率と速度が向上し、結果は生産データベースとシームレスに連携します。オプションのタッチスクリーンにより欠陥の分類とQAへのリアルタイムフィードバックが可能です。AIVR 5μはすべてのCIMS AOIと互換性があります。

主な特長

• AOIの後処理画像検証とライブビデオモードを統合
• 従来モードと比較して検証効率を最大90%向上
• AOIから直接取得したAI強化の高解像度カラー欠陥画像を表示
• 可変ズームと自動キャリブレーション
• 固定式バキュームテーブル
• 人間工学に基づく設計
• 明瞭な欠陥画像と調整可能なビデオ照明

オプション

• 欠陥マーキング用オートマーカー
• バーコードリーダー
• 調整可能なモニターアーム
• CDB™/CDBIC™ – 欠陥分類および仮想欠陥マッピング
• SharpLight™ – 映像の高精細化

仕様 / 技術仕様

• モデル: AIVR 5μ
• 用途: IC基板向けAI搭載AOI検証ステーション
• 対応ライン/スペース技術: 5〜25 µm
• 検証モード: 単一ワークステーション内での仮想および物理検証；AOI後処理画像とライブビデオ
• 特徴: AIベースの画像強調、可変ズーム、自動キャリブレーション、固定式バキュームテーブル、人間工学的設計、調整可能なビデオ照明
• 互換性: すべてのCIMS AOIと互換
• 欠陥分類およびQAへのリアルタイムフィードバック用のオプションタッチスクリーン
• オプション: オートマーカー、バーコードリーダー、調整可能なモニターアーム、CDB™/CDBIC™、SharpLight™