光学式検査機器 Galaxy 15μ

自動測定用欠陥検出用

概要
HDIおよび微細配線PCB向けの自動光学検査（AOI）で、最小ライン/スペース15 µmに対応。Galaxy 15μはCIMSのAOIシステムで、先進的なHDIおよび微細配線PCBの大量生産を支援するよう設計されています。ライン/スペース15 µmまでの検査が可能で、安定したスループットを維持します。

主な特長

• 滑らかで静かな動作を実現するリニアモーター
• コンパクトな機械プラットフォーム
• 高性能画像処理ファームウェア
• 均一な照明を実現する強化されたMicrolight Gen II™照明ブロック
• 新規ジョブの迅速かつ直感的なセットアップ
• フロントAMHSオートメーションまたはロボットに対応

オプション

• Fi™ – 完成基板向け最終検査オプション
• +2DM™ メトロロジー – パネル寸法測定
• +2CD™ メトロロジー – 回路要素の2D測定
• +3DH™ メトロロジー – 回路要素高さの3D測定
• +3DP™ メトロロジー – 回路要素の3Dプロファイリング
• LDI™ – レーザードリル検査オプション
• CDB/CDBIC™ – 欠陥分類および仮想欠陥マッピング
• VVS™ – 仮想検証システム

技術仕様

• 用途：HDIおよび微細配線PCB向けの自動光学検査（AOI）
• 最小ライン/スペース対応：15 µm
• 光学技術：Microlight Gen II™照明
• 検出エンジン：Spark™ 3.0 cross-platform detection engine
• 駆動システム：滑らかで静かな動作を実現するリニアモーター
• 機構：コンパクトな機械プラットフォーム
• 画像処理：高性能画像処理ファームウェア
• 照明：厳しい検出要件に対応する強化照明ブロック
• セットアップ：迅速で直感的なジョブセットアップ
• オートメーション互換性：フロントAMHSオートメーションまたはロボットに対応
• 利用可能なオプション：Fi™, +2DM™, +2CD™, +3DH™, +3DP™, LDI™, CDB/CDBIC™, VVS™