光学式検査機器 Capricorn 5Cχ

カメラ型自動表面用

概要 Capricorn 5Cχ は、IC基板向けに最小ライン／スペース5 µmの検出能力を持つAVIシステムです。カラーカメラを搭載し、光学ピクセルサイズ1.6 µmで高度なIC基板の最終検査を目的としています。デュアルステージおよびデュアルカメラ構成により、高容量の検査と金属部分およびはんだレジスト上の検出性能を向上させます。Capricorn 5Cχ は Industry 4.0 の要件に対応し、データベース連携や仮想検証ワークフローと統合できます。

ハイライト

• 金属およびはんだレジスト上での高精度検出
• はんだレジスト下の欠陥検出
• 複数解像度での検査
• 4つの完全自動マガジン
• 高性能な画像処理ファームウェア
• 大量データ処理に対応する高性能プロセッサ
• 簡単で直感的なセットアップ

オプション

• 統合型自動ストリップクリーナー
• バーコード読み取り機能
• 帯電防止イオナイザ装置
• CDB™/CDBIC™ – 欠陥分類および仮想欠陥マッピング
• X-WAVE™ ‒ マルチウェーブ照明
• VVS™ ‒ 仮想検証システム
• SECS/GEM™ 接続

仕様 / 技術仕様

• 用途：IC基板向け自動光学検査（AVI）
• 最小検出ライン／スペース：5 µm
• 光学ピクセルサイズ：1.6 µm
• カメラ：カラーカメラ
• 機械構成：デュアルステージおよびデュアルカメラ
• 検出エンジン：Spark™ 3.0（クロスプラットフォーム）
• 互換性：VVS™/AVI 仮想検証システム、SECS/GEM™ プロトコル
• Industry 4.0 機能：バーコード読み取り/処理、内部/外部データベース連携
• マガジン：4つの完全自動マガジン
• 検出能力：金属およびはんだレジスト上での検出向上、はんだレジスト下の欠陥を含む
• 性能：高性能な画像処理ファームウェアと大量データ処理に対応するプロセッサ