説明SVS 5μ は、Sprint™ により駆動される CIMS AVI 検証ステーションで、AVI システムでスキャンされた IC 基板ストリップの検証用に設計されています。5–8 µm のライン/フィンガー幅の検査に最適化されており、精密な検証とマーキング機能を備えています。
ハイライト- 柔軟なビデオ照明構成(反射/同軸チャネル+3つの拡散チャネル)
- 自動材料キャリブレーション
- 安定した搬送を実現する固定真空テーブル
- 人間工学に配慮した設計
- スループット向上のための欠陥間移動の最適化
- 調整可能なビデオ照明による鮮明な欠陥画像
オプション- バーコードリーダー
- 調整可能なモニター位置
- 欠陥分類と仮想欠陥マッピング用 CDB™ / CDBIC™
技術仕様- 用途:IC 基板ストリップの AVI 検証
- 最適化技術:5–8 µm のライン/フィンガー幅の検証
- 照明:金属表面やはんだマスクでのコントラストを最大化する反射/同軸チャネル+3つの拡散チャネル
- 光学系:欠陥のマーキングおよび不良品の除去機能
- 機構・ハードウェア:高いスループットを実現する堅牢な設計
- ユーザーインターフェース&人間工学:直感的な操作、最小限のトレーニングで運用可能
- 互換性:Sprint™ による駆動;CDB™ および CDBIC™ と互換;すべての CIMS AVI システムおよびサードパーティのレーザーマーキング機と互換