光学式検査機器 Capricorn 8Cχ

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説明
IC基板向けのAVIで、最小ライン/スペースは8 µmまで対応します。

Capricorn 8Cχは、カラーカメラを搭載したCIMSの最新世代AVIシステムで、先進的なIC基板の最終検査用に設計されています。8 µmのライン/スペース技術をスキャン可能で、光学ピクセルサイズは2.2 μmです。

CapricornのAVIシステムは二段ステージおよび二重カメラ構成を特徴とし、先進的なハードウェアとソフトウェアにより、高容量の検査と、金属およびはんだマスク上での検出能力の大幅な向上を提供します。

Capricornのシステムは、バーコードの読み取りと処理、内部/外部データベース接続、AVI検査向けCIMS仮想検証システム（VVS™/AVI）との完全な互換性、スマートファクトリー統合のための外部データプロトコルサポートなど、Industry 4.0の要件に完全対応しています。

Capricorn 8CχはSpark™ 3.0により駆動されます — 革新的なクロスプラットフォーム検出エンジンです。

ハイライト

• 金属およびはんだマスク上での優れた検出性能
• はんだマスク下の欠陥検出
• 複数解像度での検査
• 4つの完全自動マガジン
• 高性能画像処理ファームウェア
• 大量データを扱う強力なプロセッサ
• 簡単で直感的なセットアップ

オプション

• 統合自動ストリップクリーナー
• バーコード読み取り機能
• 静電気防止イオナイザ装置
• CDB™/CDBIC™ – 欠陥分類と仮想欠陥マッピング
• X-WAVE™ ‒ マルチウェーブ照明
• VVS™ ‒ 仮想検証システム
• SECS/GEM™ 接続

仕様 / 技術仕様

• 最小ライン/スペース: 8 µm
• 光学ピクセルサイズ: 2.2 μm
• カラーカメラ
• 二段ステージおよび二重カメラ構成
• Spark™ 3.0 検出エンジン搭載
• 金属およびはんだマスク上での優れた検出; はんだマスク下の欠陥検出
• 複数解像度での検査
• 4つの完全自動マガジン
• 高性能画像処理ファームウェアと強力なプロセッサ
• Industry 4.0互換: バーコード処理、内部/外部データベース接続
• VVS™/AVI 仮想検証システムとの互換性
• SECS/GEM™ を含む外部工場データプロトコルのサポート