光学式検査機器 VVR series

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説明
IC基板向けハイブリッドモードAOI検証ステーション。最小線幅／間隔4 µmまで対応します。VVRは、AOIのポスト処理画像による仮想検証とライブビデオ検証を単一ワークステーションで統合し、IC基板の量産に対応する設計です。シリーズ：VVR 4μ、VVR 5μ、VVR 7μ、VVR 10μ、VVR 15μ。

ハイライト

• AOIのポスト処理画像とライブビデオの検証を組み合わせ
• 従来モードに比べ検証効率を最大70%向上
• AOIから直接取得したポスト処理済みのカラー欠陥画像を表示
• 可変ズームと自動キャリブレーションにより再現性のある検査を実現
• 基板固定用の定置式バキュームテーブル
• 人間工学に基づく作業ステーション設計
• 鮮明な欠陥画像と調整可能なビデオ照明

オプション

• 欠陥マーキング用Auto-marker
• トレーサビリティ用バーコードリーダー
• 調整可能なモニターアーム
• CDB™/CDBIC™ — 欠陥分類および仮想欠陥マッピング
• SharpLight™ — 高度なビデオ画像強調
• オプションのタッチスクリーンによりオペレータによる分類とQAへのリアルタイムフィードバックが可能

特長 / 技術仕様

• 製品種別：IC基板用ハイブリッドモードAOI検証ステーション
• 対応最小線幅/間隔：4 µmまで
• シリーズモデル：VVR 4μ、VVR 5μ、VVR 7μ、VVR 10μ、VVR 15μ
• 検証モード：仮想検証（AOIポスト処理画像）およびライブビデオモード
• 画像処理：高度な画像強調アルゴリズム、ポスト処理済みカラー欠陥画像
• 効率改善：従来の検証モードと比較して最大70%向上
• 光学/機能：可変ズーム、自動キャリブレーション、調整可能なビデオ照明、SharpLight™オプション
• 機械構造：定置式バキュームテーブル、人間工学設計、調整可能なモニターアーム（オプション）
• トレーサビリティ/マーキング：Auto-markerオプション、バーコードリーダーオプション
• ソフト/オプション：CDB™/CDBIC™による欠陥分類と仮想欠陥マッピング
• 統合：すべてのCIMS AOIシステムと互換性あり