光学式検査機器 Galaxy Fi 15Cμ

カメラ型測定用欠陥検出用

製品説明
Galaxy Fi 15Cμ は、標準IC基板、HDI、MLB基板のパネル最終検査向けに設計されたパネルベースの最終検査システムです。高解像度カラーカメラと、15 µm ライン/スペースまで解像できる最適化光学を備え、ソルダーマスク、めっき銅、金めっき/OTC、裸基板上で高いコントラストを実現します。

特長

• スムーズで静音の直線モーター駆動
• 自動真空テーブルを備えた堅牢な機械構造
• 高性能な画像取得・処理ファームウェア
• 大量データ処理に対応する次世代コンピュータアーキテクチャ
• 段取り時間を短縮する高速で直感的なジョブ設定
• 前後のAMHS自動化やロボットとの連携に対応

オプション

• +2DM™ 測長 – パネル寸法測定
• +2CD™ 測長 – 回路要素の2D測定
• +3DH™ 測長 – 回路要素高さの3D測定
• +3DP™ 測長 – 回路要素の3Dプロファイリング
• CDB™/CDBIC™ – 欠陥分類および仮想欠陥マッピング
• X-WAVE™ – マルチ波長照明

技術仕様

• 用途: 標準IC基板、HDI、MLB基板のパネル最終検査
• 最小分解能 ライン/スペース: 15 µm
• イメージング: 高解像度画像取得可能なカラーカメラ
• 光学性能: ソルダーマスク、めっき銅、金めっき/OTC、裸基板で最大コントラストを実現する最適化設計
• 検出エンジン: Spark™ 3.0 cross-platform detection engine
• 駆動系: スムーズで静音の直線モーター
• 機械: 自動真空テーブルを備えた堅牢な機械構造
• 処理: 高性能画像処理ファームウェアおよび大量データ対応の次世代コンピュータ
• 操作性: 新規ジョブの設定が高速で直感的
• 自動化: 前後のAMHS自動化やロボットに対応
• オプションの計測・検査機能: 2DM™, 2CD™, 3DH™, 3DP™, CDB™/CDBIC™, X-WAVE™