光学式検査機器 Galaxy VIA series

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説明
最小検出径20 µmまでのスルーレーザービア検査用AOIシステムです。Galaxy VIA seriesは、先進的なHDIやIC基板の大量生産におけるスルーレーザービア検査を支援するために設計された機種群です。ファミリーに含まれる機種は次の通りです：

• Galaxy VIA 20µ：直径20 µmまでのビア穴の検査用
• Galaxy VIA 25µ：直径25 µmまでのビア穴の検査用
• Galaxy VIA 30µ：直径30 µmまでのビア穴の検査用

システムの照明はViaLight™技術により駆動され、スキャンテーブル内蔵の透過型光源を提供します。オプションのMicrolight™照明は上方からの同時照明を行い、スルービア穴の外形および内形を最も正確かつ完全に取得します。
Galaxy VIA seriesのシステムは、直径20ミクロンのスルーレーザードリルまで検査可能で、過小・過大欠陥、ビア内部の汚染物や破片、詰まりや欠損穴、許容範囲を超えたドリルシフトを検出できます。
高度な統計パッケージにより、Galaxy VIA seriesの機能はさらに拡張され、レーザードリル工具のキャリブレーションに使用されるリアルタイムのプロセスコントロールを提供します。

ハイライト

• 滑らかで静かな動作を実現するリニアモーター
• コンパクトなGalaxyプラットフォームを採用
• ViaLight™技術によるテーブル内蔵LED照明
• 高性能な画像処理ファームウェア
• 大容量データを処理する高性能プロセッサ
• 新規ジョブの高速かつ直感的なセットアップ
• 強力な統計出力

オプション

• 上部Microlight™照明ブロック
• ドリルシフトおよび直径違反を算出する高機能統計パッケージ
• CDB™/CDBIC™ – 欠陥分類および仮想欠陥マッピング
• VVS™ – 仮想検証システム

仕様 / 技術仕様

• シリーズ名：Galaxy VIA series
• 利用可能なモデルと最小検出ビア径：Galaxy VIA 20µ（20 µm）、Galaxy VIA 25µ（25 µm）、Galaxy VIA 30µ（30 µm）
• 照明：ViaLight™透過型LED照明をテーブル内蔵；同時上方照明用のトップMicrolight™はオプション
• 検出能力：過小・過大ビア、ビア内部の汚染物・破片、詰まり穴、欠損穴、許容外のドリルシフト
• 動作：滑らかで静かな動作を実現するリニアモーター
• プラットフォーム：コンパクトなGalaxyプラットフォーム
• 処理：高性能画像処理ファームウェアおよび大容量データを扱う高性能プロセッサ
• セットアップ：高速で直感的なジョブセットアップ
• 統計 & プロセス制御：リアルタイムのプロセス制御とレーザードリル工具キャリブレーション用の強力な統計パッケージ；ドリルシフトおよび直径違反計算用のオプションパッケージ
• ソフトウェアオプション：CDB™/CDBIC™（欠陥分類および仮想欠陥マッピング）、VVS™（仮想検証システム）