説明MLB基板向けのハイブリッドモードAOI検査ステーション。ポスト処理された仮想検証とライブ映像による物理検証を一台で実行可能で、25+ µmのライン/スペースに対応し、大量生産向けに設計されています。VVRシリーズはライン/スペース技術に最適化されたモデル(VVR 25µ、VVR 30µ)を含みます。
特長- AOIのポスト処理画像とライブ映像検査の統合レビュー
- 従来方式と比べ最大70%の検証効率向上
- AOIから直接取得したカラーの欠陥画像を表示
- 可変ズームと自動キャリブレーション
- 固定式バキュームテーブルで基板を安定保持
- オペレータの負担を軽減する人間工学的設計
- 鮮明な欠陥画像と調整可能なビデオ照明
オプション- 欠陥マーキング用オートマーカー
- トレーサビリティ用バーコードリーダー
- 調整可能なモニターアーム
- CDB™ / CDBIC™ — 欠陥分類および仮想欠陥マッピング
- SharpLight™ — 映像強化処理
技術仕様- 製品タイプ:MLB基板向けハイブリッドモードAOI検査ステーション
- 対応最小ライン/スペース:25+ µm
- シリーズ/モデル:VVR 25µ、VVR 30µ(ライン/スペース技術別に最適化)
- 大量生産のMLB基板向けに設計
- AOIポスト処理画像の検証およびライブ映像検査に対応
- 誤検出フィルタを高速化する高度な画像強調アルゴリズム
- 欠陥分類とリアルタイムQAフィードバック用のタッチスクリーン(オプション)
- 検証結果のデータベース統合による追跡性
- 可変ズーム光学系と自動キャリブレーションルーチン
- 検査中の基板安定性を確保する固定バキュームテーブル
- 人間工学に基づいたレイアウトと調整可能なビデオ照明により最適な欠陥視認性を実現
- オプションアクセサリ:オートマーカー、バーコードリーダー、調整可能なモニターアーム
- オプションソフト/機能:CDB™/CDBIC™(欠陥分類&仮想マッピング)、SharpLight™(映像強化)
- 互換性:すべてのCIMS AOIシステムと互換
- 想定効率向上:従来の検証方式比で最大70%